வெற்றிட பூச்சு கருவிகளின் அழுத்தம் கட்டுப்பாட்டு கொள்கை

1. பின்னணி அறிமுகம்
வெற்றிட பூச்சு உபகரணங்கள் தொழில்துறை உற்பத்தியில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படும் ஒரு வகையான உபகரணங்கள். அதன் முக்கிய செயல்பாடு என்னவென்றால், வெற்றிட பூச்சு அறைக்குள் பூசப்பட வேண்டிய பொருளை வைப்பது, மற்றும் அதிக வெப்பநிலை மற்றும் அதிக வெற்றிட சூழலின் கீழ் எதிர்வினை மூலம், திரைப்பட அடுக்கு பொருளின் மேற்பரப்பில் சமமாக வைக்கப்பட்டுள்ளது. , மற்றும் சிறப்பு செயல்பாடுகள் மற்றும் குணாதிசயங்களுடன் ஒரு குறிப்பிட்ட பூச்சு அடுக்கை உருவாக்குங்கள். அவற்றில், உபகரணங்களில் வெற்றிட பட்டம் மற்றும் ஒட்டுதல் விகிதம் பூச்சு அடுக்கின் தரத்தை பாதிக்கும் முக்கியமான குறிகாட்டிகளாகும், மேலும் வெற்றிட பட்டத்தின் நிலைத்தன்மை சாதனங்களில் உள்ள அழுத்தக் கட்டுப்பாட்டைப் பொறுத்தது.
2. வெற்றிட பூச்சு கருவிகளின் அழுத்தக் கட்டுப்பாட்டின் கொள்கை
1. வெற்றிட பட்டத்தின் வரையறை
அழுத்தக் கட்டுப்பாட்டின் கொள்கையை அறிமுகப்படுத்துவதற்கு முன், வெற்றிடம் என்றால் என்ன என்பதை அறிமுகப்படுத்துவது அவசியம். இயற்பியலில், வெற்றிடம் என்பது ஒரு வாயு சூழலைக் குறிக்கிறது, அதன் அழுத்தம் வளிமண்டல அழுத்தத்தை விட குறைவாக உள்ளது, எனவே வெற்றிடத்தின் அளவு ஒரு குறிப்பிட்ட இடத்தில் உள்ள வாயு அழுத்தத்தைக் குறிக்கிறது. பொதுவாக, வெற்றிடம் பொதுவாக பாஸ்கல்ஸ் (பிஏ) அல்லது மீட்டர் பட்டியில் (MBAR) அளவிடப்படுகிறது. வெற்றிட பூச்சு உபகரணங்களில், வழக்கமான வெற்றிடம் 10^-6pa ~ 10^-2pa ஆகும்.
2. அழுத்தம் கட்டுப்பாட்டின் கொள்கை
வெற்றிடம் மிக அதிகமாகவோ அல்லது குறைவாகவோ இருக்கும்போது, ​​அது சாதனங்களின் இயல்பான செயல்பாட்டை பாதிக்கும். எனவே, ஒரு குறிப்பிட்ட முறையின் மூலம் சாதனங்களில் உள்ள வெற்றிட அளவைக் கட்டுப்படுத்துவது அவசியம். அவற்றில், அழுத்தம் கட்டுப்பாடு என்பது ஒப்பீட்டளவில் எளிமையான மற்றும் திறமையான கட்டுப்பாட்டு முறையாகும். குறிப்பாக, அழுத்தக் கட்டுப்பாட்டின் கொள்கை, கட்டுப்படுத்தப்பட்ட முடிவின் அழுத்தத்தைக் கண்டறிவதன் மூலம் சாதனங்களில் உள்ள வாயு ஓட்ட விகிதத்தைக் கட்டுப்படுத்த ஒரு அழுத்தக் கட்டுப்படுத்தியைப் பயன்படுத்துவதாகும், பின்னர் பின்னூட்ட பொறிமுறையின் மூலமும், வால்வின் திறப்பைக் கட்டுப்படுத்துவதன் மூலம், அழுத்தத்தைக் கட்டுப்படுத்தும் நோக்கத்தை அடைவதற்காக.
3. அழுத்தம் கட்டுப்படுத்தியின் அடிப்படை கலவை
வெற்றிட பூச்சு கருவிகளில், அழுத்தத்தைக் கட்டுப்படுத்த ஒரு அழுத்தம் கட்டுப்படுத்தி பொதுவாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது. அதன் அடிப்படை கலவையில் நான்கு பகுதிகள் உள்ளன: கண்டறிதல் சென்சார், கட்டுப்படுத்தி, ஆக்சுவேட்டர் மற்றும் கட்டுப்பாட்டு அமைப்பு.
கண்டறிதல் சென்சார்: கட்டுப்படுத்தப்பட்ட முடிவின் அழுத்த மாற்றத்தைக் கண்டறிந்து கட்டுப்படுத்தியால் பயன்படுத்த அதனுடன் தொடர்புடைய மின் சமிக்ஞை வெளியீடாக மாற்ற இது முக்கியமாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது.
கட்டுப்படுத்தி: இது முக்கியமாக சென்சார் மூலம் மின் சமிக்ஞை வெளியீட்டைப் பெறுகிறது, அதை செயலாக்குகிறது மற்றும் பகுப்பாய்வு செய்கிறது, பின்னர் பகுப்பாய்வு முடிவை ஆக்சுவேட்டரின் தொடக்க அளவைக் கட்டுப்படுத்த ஆக்சுவேட்டருக்கு மீண்டும் ஊட்டுகிறது.
ஆக்சுவேட்டர்: இது முக்கியமாக வால்வின் தொடக்க அளவைக் கட்டுப்படுத்துவதன் மூலம் சாதனங்களில் உள்ள வாயுவின் ஓட்ட விகிதத்தை கட்டுப்படுத்துகிறது, இதனால் அழுத்தத்தைக் கட்டுப்படுத்தும் நோக்கத்தை அடைய.
கட்டுப்பாட்டு அமைப்பு: வெப்பநிலை, வெற்றிட பட்டம் போன்ற சாதனங்களில் உள்ள பல்வேறு குறிகாட்டிகளை கண்காணிக்கவும் கட்டுப்படுத்தவும் இது முக்கியமாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது, மேலும் தொடர்ச்சியான கட்டுப்பாட்டு உத்திகளை உருவாக்குகிறது.
3. சுருக்கம்
சுருக்கமாக, வெற்றிட பூச்சு கருவிகளில் அழுத்தம் கட்டுப்பாட்டின் கொள்கை ஒப்பீட்டளவில் எளிமையான மற்றும் திறமையான பின்னூட்ட பொறிமுறையின் மூலம் சாதனங்களில் உள்ள அழுத்தத்தை கட்டுப்படுத்துவதாகும். அத்தகைய நிலையான கட்டுப்பாட்டு முறையை நிறுவுவதற்கு, அளவுரு கண்காணிப்பு, கட்டுப்பாட்டு வழிமுறை, ஆக்சுவேட்டர் கட்டுப்பாடு, கணினி இணைப்பு போன்ற உபகரணங்கள் கட்டுப்பாட்டு அமைப்பின் பல்வேறு அம்சங்களின் தொழில்நுட்ப ஆதரவு தேவைப்படுகிறது. இந்த தொழில்நுட்ப காரணிகளுக்கு சில தொழில்முறை மற்றும் தொழில்நுட்ப பணியாளர்களின் ஒத்துழைப்பு தேவைப்படுகிறது.