வெற்றிட பூச்சுகளின் கொள்கை வெளிப்படுத்தப்பட்டுள்ளது: தொழில்நுட்ப அடித்தளம், செயல்முறை ஓட்டம் மற்றும் தொழில் பயன்பாடு

இது ஒரு மெல்லிய படத்தை உருவாக்க குறைந்த அழுத்த சூழலில் உடல் அல்லது வேதியியல் முறைகளைப் பயன்படுத்தி ஒரு அடி மூலக்கூறு மேற்பரப்பில் பொருட்களை டெபாசிட் செய்யும் செயல்முறையாகும். இந்த தொழில்நுட்பத்தின் மூலம், உயர் தூய்மை மற்றும் உயர் துல்லியமான மெல்லிய திரைப்பட படிவு ஆகியவற்றை அடைய முடியும், இது குறிப்பிட்ட ஆப்டிகல், மின், இயந்திர மற்றும் பிற பண்புகளை வழங்குகிறது. எனவே, வெற்றிட பூச்சு நவீன தொழில்துறையில் முக்கியமான பயன்பாட்டு மதிப்பைக் கொண்டுள்ளது. எடுத்துக்காட்டாக, குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில், செதில்களில் பல்வேறு செயல்பாட்டு அடுக்குகளை உருவாக்க வெற்றிட பூச்சு பயன்படுத்தப்படுகிறது; ஒளியியல் துறையில், பூச்சு மூலம் எதிர்ப்பு பிரதிபலிப்பு மற்றும் எதிர்ப்பு பிரதிபலிப்பு விளைவுகளை அடைய முடியும்; இயந்திர உற்பத்தியில்,வெற்றிட பூச்சுகூறுகளின் உடைகள் எதிர்ப்பு மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்பை மேம்படுத்தலாம்.

வெற்றிட பூச்சுகளின் அடிப்படைக் கோட்பாடு

A. வெற்றிட தொழில்நுட்பத்தின் அடிப்படைகள்

1. வெற்றிடத்தின் வரையறை மற்றும் அளவீட்டு

வெற்றிடம் என்பது ஒரு வளிமண்டல அழுத்தத்திற்கு கீழே உள்ள வாயு சூழலைக் குறிக்கிறது (760 மில்லிமீட்டர் மெர்குரி, 101325 பா). வெற்றிடத்தின் வெவ்வேறு அளவுகளின்படி, வெற்றிடத்தை குறைந்த வெற்றிடம், நடுத்தர வெற்றிடம், உயர் வெற்றிடம் மற்றும் அதி-உயர் வெற்றிடமாக பிரிக்கலாம். மேக்லெஹோஸ் பிரஷர் அளவீடுகள், பிரானி அளவீடுகள் மற்றும் குளிர் கேத்தோடு அளவீடுகள் போன்ற அழுத்தம் அளவீடுகளைப் பயன்படுத்தி வெற்றிட பட்டத்தின் அளவீட்டு பொதுவாக மேற்கொள்ளப்படுகிறது.

2. வெற்றிட கையகப்படுத்தல் முறை

மெக்கானிக்கல் பம்ப்: மெக்கானிக்கல் பம்புகள் இயந்திர இயக்கம் மூலம் வாயு வெளியேற்றும், பொதுவாக ரோட்டரி வேன் பம்புகள் மற்றும் உதரவிதானம் விசையியக்கக் குழாய்கள் உட்பட. இந்த விசையியக்கக் குழாய்கள் குறைந்த மற்றும் நடுத்தர வெற்றிடத்தைப் பெறுவதற்கு ஏற்றவை.

மூலக்கூறு பம்ப்: ஒரு மூலக்கூறு பம்ப் ஒரு அதிவேக சுழலும் ரோட்டரைப் பயன்படுத்தி வாயுவை இயந்திரத்தனமாக வெளியேற்ற பயன்படுத்துகிறது, இது உயர் மற்றும் அதி-உயர் வெற்றிடத்தைப் பெறுவதற்கு ஏற்றது.

டர்போபம்ப்: டர்போமோலிகுலர் பம்ப் மெக்கானிக்கல் பம்ப் மற்றும் மூலக்கூறு பம்பின் நன்மைகளை ஒருங்கிணைக்கிறது, பல-நிலை சுழலும் கத்திகள் மூலம் திறமையான உந்தி அடைகிறது, மேலும் இது உயர் வெற்றிட அமைப்புகளில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது.

பி. மெல்லிய திரைப்பட இயற்பியல்

மெல்லிய படங்களின் வகைப்பாடு மற்றும் அடிப்படை பண்புகள்

தயாரிப்பு முறை மற்றும் நோக்கங்களின்படி, மெல்லிய திரைப்படங்களை உலோகத் திரைப்படங்கள், பீங்கான் திரைப்படங்கள், பாலிமர் திரைப்படங்கள் போன்றவற்றாகப் பிரிக்கலாம். மெல்லிய படங்களின் அடிப்படை பண்புகளில் தடிமன், சீரான தன்மை, ஒட்டுதல், கடினத்தன்மை, ஒளியியல் பண்புகள் (பரிமாற்றம் மற்றும் பிரதிபலிப்பு போன்றவை) மற்றும் மின் பண்புகள் (கடத்துத்திறன் மற்றும் மின்கடத்தன்மை போன்றவை) ஆகியவை அடங்கும்.

மெல்லிய திரைப்பட வளர்ச்சியின் அடிப்படை செயல்முறை மற்றும் வழிமுறை

மெல்லிய படங்களின் வளர்ச்சி செயல்முறை பொதுவாக அணுக்கரு, தீவு வளர்ச்சி, தொடர்ச்சியான மற்றும் அடுக்கு வளர்ச்சி போன்ற நிலைகளை உள்ளடக்கியது. அணுக்கரு என்பது ஆரம்ப கட்டமாகும், இதில் அணுக்கள் அல்லது மூலக்கூறுகள் அடி மூலக்கூறு மேற்பரப்பில் சேகரிக்கும் சிறிய தீவுகளை உருவாக்குகின்றன; நேரம் செல்ல செல்ல, இந்த சிறிய தீவுகள் படிப்படியாக தாள்களுடன் இணைகின்றன, இறுதியில் தொடர்ச்சியான மெல்லிய படத்தை உருவாக்குகின்றன. பொருள் பண்புகள், அடி மூலக்கூறு மேற்பரப்பு நிலை, படிவு வெப்பநிலை மற்றும் படிவு வீதம் போன்ற காரணிகளால் வளர்ச்சி வழிமுறை பாதிக்கப்படுகிறது.

சி. பொருள் அறிவியலின் அடிப்படைகள்

பொதுவான பூச்சு பொருட்கள் மற்றும் அவற்றின் பண்புகள்

பொதுவான பூச்சு பொருட்களில் உலோகங்கள் (அலுமினியம், தங்கம், பிளாட்டினம் போன்றவை), குறைக்கடத்திகள் (சிலிக்கான் மற்றும் ஜெர்மானியம் போன்றவை), மட்பாண்டங்கள் (அலுமினிய ஆக்சைடு மற்றும் சிலிக்கான் நைட்ரைடு போன்றவை) மற்றும் கரிம பொருட்கள் (பாலிமர்கள் போன்றவை) ஆகியவை அடங்கும். வெவ்வேறு பொருட்கள் வெவ்வேறு உடல் மற்றும் வேதியியல் பண்புகளைக் கொண்டுள்ளன, மேலும் பூச்சுப் பொருட்களைத் தேர்ந்தெடுக்கும்போது, ​​குறிப்பிட்ட பயன்பாடுகளில் அவற்றின் செயல்திறன் தேவைகள் கருத்தில் கொள்ளப்பட வேண்டும்.

பொருள் தேர்வுக்கான கொள்கைகள் மற்றும் தரநிலைகள்

பொருள் தேர்வின் கொள்கைகளில் வேதியியல் நிலைத்தன்மை, இயந்திர பண்புகள், ஆப்டிகல் பண்புகள் மற்றும் மின் பண்புகள் ஆகியவை அடங்கும். தரங்கள் பொதுவாக மெல்லிய படங்களின் தரம் மற்றும் செயல்பாட்டு பண்புகளை உறுதிப்படுத்த பொருட்களின் தூய்மை, துகள் அளவு, தூய்மையற்ற உள்ளடக்கம் போன்றவற்றை உள்ளடக்குகின்றன.

வெற்றிட பூச்சுகளின் முக்கிய முறைகள் மற்றும் கொள்கைகள்

A. உடல் நீராவி படிவு (பி.வி.டி)

கண்ணோட்டம் மற்றும் வகைப்பாடு

உடல் நீராவி படிவு (பி.வி.டி) என்பது ஒரு நுட்பமாகும், இது உடல் செயல்முறைகளை அடி மூலக்கூறு மேற்பரப்பில் டெபாசிட் செய்ய பயன்படுத்துகிறது. முக்கிய வகைகளில் ஆவியாதல் பூச்சு, ஸ்பட்டரிங் பூச்சு மற்றும் அயன் முலாம் ஆகியவை அடங்கும்.

குறிப்பிட்ட செயல்முறை கோட்பாடுகள் மற்றும் படிகள்

ஆவியாதல் பூச்சு: பொருள் அதிக வெப்பநிலையில் ஆவியாகி, ஒரு மெல்லிய படத்தை ஒரு வெற்றிட அமைப்பு மூலம் அடி மூலக்கூறில் வைப்பது. பொதுவான வெப்ப மூலங்களில் எதிர்ப்பு வெப்பமாக்கல் மற்றும் எலக்ட்ரான் கற்றை வெப்பமாக்கல் ஆகியவை அடங்கும்.

ஸ்பட்டரிங் பூச்சு: மந்த வாயு அயனிகளுடன் குண்டு வீசுவதன் மூலம், இலக்கு பொருள் அணுக்கள் ஒரு மெல்லிய படத்தை உருவாக்கி அடி மூலக்கூறில் சுழற்றப்படுகின்றன. பொதுவான முறைகளில் டி.சி ஸ்பட்டரிங் மற்றும் ஆர்.எஃப்.

அயன் முலாம்: ஒரு அயன் மூலத்தின் செயல்பாட்டின் கீழ், அயனியாக்கம் செய்யப்பட்ட பொருட்கள் அடி மூலக்கூறில் டெபாசிட் செய்ய துரிதப்படுத்தப்படுகின்றன, பொதுவாக அதிக கடினத்தன்மை பூச்சுகளைத் தயாரிக்கப் பயன்படுகின்றன.

நன்மைகள், தீமைகள் மற்றும் பயன்பாட்டின் நோக்கம்

பி.வி.டி தொழில்நுட்பத்தின் நன்மைகள் மெல்லிய திரைப்பட அடர்த்தி, வலுவான ஒட்டுதல் மற்றும் குறைந்த செயல்முறை வெப்பநிலை ஆகியவை அடங்கும்

, ஆனால் உபகரணங்கள் சிக்கலானவை மற்றும் செலவு அதிகமாக உள்ளது. உலோகம், அலாய் மற்றும் பீங்கான் மெல்லிய திரைப்படங்களைத் தயாரிப்பதற்கு ஏற்றது, எலக்ட்ரானிக்ஸ், ஒளியியல் மற்றும் அலங்காரத் துறைகளில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது.

பி. வேதியியல் நீராவி படிவு (சி.வி.டி)

சி.வி.டி.யின் அடிப்படை கருத்து

வேதியியல் நீராவி படிவு (சி.வி.டி) என்பது வேதியியல் எதிர்வினைகள் மூலம் ஒரு அடி மூலக்கூறு மேற்பரப்பில் மெல்லிய படங்களை வைப்பதற்கான ஒரு நுட்பமாகும். எதிர்வினை வாயு அதிக வெப்பநிலையில் வேதியியல் எதிர்வினைகளை சிதைக்கிறது அல்லது உட்படுத்துகிறது, இது திட வைப்புகளை உருவாக்குகிறது.

பல்வேறு சி.வி.டி முறைகள்

குறைந்த அழுத்தம் சி.வி.டி (எல்.பி.சி.வி.டி): குறைந்த அழுத்த சூழலில், உயர் திரைப்படத் தரம் மற்றும் நல்ல சீரான தன்மையுடன், குறைக்கடத்தி தொழிலுக்கு ஏற்றது.

பிளாஸ்மா மேம்படுத்தப்பட்ட சி.வி.டி (பி.இ.சி.வி.டி): வேதியியல் எதிர்வினைகளை விரைவுபடுத்துவதற்கும், எதிர்வினை வெப்பநிலையைக் குறைப்பதற்கும் பிளாஸ்மாவைப் பயன்படுத்துதல், வெப்பநிலை உணர்திறன் பொருட்களுக்கு ஏற்றது.

மெட்டல் ஆர்கானிக் வேதியியல் நீராவி படிவு (MOCVD): உலோக கரிம சேர்மங்களை முன்னோடிகளாகப் பயன்படுத்தி, III-V குறைக்கடத்தி பொருட்கள் போன்ற சிக்கலான கலவை மெல்லிய படங்களைத் தயாரிப்பதற்கு இது ஏற்றது.

செயல்முறை பண்புகள் மற்றும் பயன்பாட்டு எடுத்துக்காட்டுகள்

சி.வி.டி செயல்முறையின் பண்புகள் அடர்த்தியான படம், அதிக தூய்மை மற்றும் நல்ல சீரான தன்மை, ஆனால் அதிக வெப்பநிலை மற்றும் சிக்கலான உபகரணங்கள். குறைக்கடத்தி சாதனங்கள், சூரிய மின்கலங்கள், ஆப்டிகல் பூச்சுகள் மற்றும் பிற துறைகளில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது.

சி. அணு அடுக்கு படிவு (ALD)

ALD இன் தனித்துவமான வழிமுறை மற்றும் படிகள்

அணு அடுக்கு படிவு (ALD) என்பது ஒரு நுட்பமாகும், இது முன்னோடி வாயு மற்றும் எதிர்வினை வாயுவை மாற்றுவதன் மூலம் மெல்லிய படங்களின் தடிமன் துல்லியமாக கட்டுப்படுத்துகிறது, மேலும் அடி மூலக்கூறு மேற்பரப்பில் அடுக்கு மூலம் அணு அடுக்கு அடுக்குகளை டெபாசிட் செய்கிறது. அதன் தனித்துவமான சுய வரையறுக்கும் எதிர்வினை வழிமுறை நானோ அளவிற்கு திரைப்பட தடிமன் துல்லியமாக கட்டுப்படுத்த அனுமதிக்கிறது.

பி.வி.டி மற்றும் சி.வி.டி உடன் ஒப்பிடுதல்

பி.வி.டி மற்றும் சி.வி.டி உடன் ஒப்பிடும்போது, ​​ALD இன் நன்மைகள் திரைப்பட தடிமன், உயர் சீரான தன்மை மற்றும் சிக்கலான கட்டமைப்புகளை மறைக்கும் வலுவான திறன் ஆகியவற்றின் துல்லியமான கட்டுப்பாட்டில் உள்ளன. இருப்பினும், படிவு வேகம் மெதுவாக உள்ளது, இது மிக அதிக துல்லியம் மற்றும் சீரான தன்மை தேவைப்படும் பயன்பாடுகளுக்கு ஏற்றது.

பயன்பாட்டு வாய்ப்பு

மைக்ரோ எலக்ட்ரானிக்ஸ், நானோ தொழில்நுட்பம் மற்றும் பயோமெடிசின் போன்ற துறைகளில் ALD தொழில்நுட்பம் பரந்த பயன்பாட்டு வாய்ப்புகளைக் கொண்டுள்ளது, அதாவது உயர் கே மின்கடத்தா திரைப்படங்கள், நானோவைர்ஸ் மற்றும் பயோசென்சர்கள் தயாரித்தல்.

வெற்றிட பூச்சு உபகரணங்கள் மற்றும் செயல்முறை ஓட்டம்

A. வழக்கமான வெற்றிட பூச்சு உபகரணங்கள்

பூச்சு இயந்திரத்தின் அடிப்படை அமைப்பு

வழக்கமான பூச்சு உபகரணங்களில் வெற்றிட அறைகள், பிரித்தெடுத்தல் அமைப்புகள், வெப்ப அமைப்புகள், கட்டுப்பாட்டு அமைப்புகள் மற்றும் பூச்சு மூலங்கள் ஆகியவை அடங்கும். வெற்றிட அறை குறைந்த அழுத்த சூழலை வழங்குகிறது, வெற்றிடத்தைப் பெறவும் பராமரிக்கவும் உந்தி அமைப்பு பயன்படுத்தப்படுகிறது, பூச்சு மூலமானது பொருட்களை வழங்குகிறது, மேலும் கட்டுப்பாட்டு அமைப்பு கண்காணிக்கிறது மற்றும் செயல்முறை அளவுருக்களை சரிசெய்கிறது.

பொதுவான சாதன வகைகள்

ஆவியாதல் பூச்சு இயந்திரம்: பொருள் ஆவியாகி, எதிர்ப்பு வெப்பமாக்கல் அல்லது எலக்ட்ரான் கற்றை வெப்பமாக்கல் மூலம் அடி மூலக்கூறு மீது டெபாசிட் செய்யப்படுகிறது.

ஸ்பட்டரிங் பூச்சு இயந்திரம்: இலக்கு பொருள் அணுக்கள் மாக்னட்ரான் ஸ்பட்டரிங் அல்லது ரேடியோ அதிர்வெண் ஸ்பட்டரிங் மூலம் அடி மூலக்கூறில் சுழல்கின்றன.

அயன் முலாம் உபகரணங்கள்: கடினமான பூச்சுகளைத் தயாரிப்பதில் பொதுவாகப் பயன்படுத்தப்படும் மெல்லிய படங்களை டெபாசிட் செய்ய உயர் ஆற்றல் அயன் விட்டங்களை உருவாக்க அயன் மூலத்தைப் பயன்படுத்துதல்.

பி. செயல்முறை ஓட்டம்

முன் செயலாக்க செயல்முறை

பூச்சுக்கு முன், மேற்பரப்பு மாசுபடுத்திகள் மற்றும் ஆக்சைடு அடுக்குகளை அகற்ற அடி மூலக்கூறு மேற்பரப்பு சுத்தம் செய்யப்பட்டு முன்கூட்டியே சிகிச்சையளிக்கப்பட வேண்டும், இது படத்தின் ஒட்டுதல் மற்றும் சீரான தன்மையை உறுதி செய்கிறது. பொதுவான முறைகளில் மீயொலி சுத்தம், ரசாயன சுத்தம் மற்றும் பிளாஸ்மா சுத்தம் செய்தல் ஆகியவை அடங்கும்.

பூச்சு செயல்முறை

பூச்சு செயல்முறையின் திறவுகோல் வெற்றிட பட்டம், வெப்பநிலை, வாயு ஓட்ட விகிதம் மற்றும் படிவு வீதம் உள்ளிட்ட கட்டுப்பாட்டு அளவுருக்களை மேம்படுத்துவதாகும். இந்த அளவுருக்கள் படத்தின் தரம் மற்றும் செயல்திறனை நேரடியாக பாதிக்கின்றன.

பிந்தைய செயலாக்க செயல்முறை

பூச்சுக்குப் பின் படம் பெரும்பாலும் படத்தின் இயற்பியல் மற்றும் வேதியியல் பண்புகள் மற்றும் நிலைத்தன்மையை மேம்படுத்துவதற்கு பிந்தைய சிகிச்சையானது, வருடாந்திர மற்றும் செயலற்ற தன்மை போன்றவை தேவைப்படுகின்றன.

சி. செயல்முறை கட்டுப்பாடு மற்றும் தேர்வுமுறை

வெற்றிட பட்டம், வெப்பநிலை, வளிமண்டலம் போன்ற அளவுருக்களின் கட்டுப்பாடு

வெற்றிட பட்டம், படிவு வெப்பநிலை மற்றும் வாயு கலவையை துல்லியமாகக் கட்டுப்படுத்துவதன் மூலம், மெல்லிய படங்களின் வளர்ச்சி செயல்முறையை உகந்ததாக மாற்ற முடியும், மேலும் படங்களின் சீரான தன்மையையும் செயல்திறனையும் மேம்படுத்தலாம்.

பூச்சு தடிமன் மற்றும் சீரான தன்மையைக் கட்டுப்படுத்துதல்

குவார்ட்ஸ் கிரிஸ்டல் மைக்ரோ பேலன்ஸ் மற்றும் ஆப்டிகல் கண்காணிப்பு அமைப்பு போன்ற ஆன்லைன் கண்காணிப்பு தொழில்நுட்பங்களைப் பயன்படுத்துவதன் மூலம், படத்தின் தரத்தை உறுதிப்படுத்த நிகழ்நேர கண்காணிப்பு மற்றும் பூச்சு தடிமன் மற்றும் சீரான தன்மையைக் கட்டுப்படுத்தலாம்.

தர சோதனை மற்றும் மதிப்பீட்டு முறைகள்

திரைப்படத் தரத்தைக் கண்டறிவதில் திரைப்பட தடிமன், மேற்பரப்பு உருவவியல், கலவை பகுப்பாய்வு, ஒட்டுதல், கடினத்தன்மை போன்ற உடல், வேதியியல் மற்றும் இயந்திர பண்புகளின் மதிப்பீடு அடங்கும். பொதுவான முறைகள் எலக்ட்ரான் மைக்ரோஸ்கோபி (எஸ்இஎம்), அணுசக்தி நுண்ணோக்கி (ஏ.எஃப்.எம்), எக்ஸ்-ரே டிஃப்ராஃப்ரக்ஷன் (எக்ஸ்ஆர்டி) மற்றும் ஸ்பெக்ட்ரோஸ்கோபிக் பகுப்பாய்வு ஆகியவை அடங்கும்.

வெற்றிட பூச்சுக்கான பயன்பாட்டு எடுத்துக்காட்டுகள்

ஏ. மின்னணுவியல் மற்றும் குறைக்கடத்தி தொழில்

ஒருங்கிணைந்த சுற்று உற்பத்தி

உலோக ஒன்றோடொன்று இணைக்கும் அடுக்குகள், காப்பு அடுக்குகள் மற்றும் பாதுகாப்பு அடுக்குகளை டெபாசிட் செய்ய ஒருங்கிணைந்த சுற்று உற்பத்தியில் வெற்றிட பூச்சு தொழில்நுட்பம் பயன்படுத்தப்படுகிறது. அதிக துல்லியமான பூச்சு செயல்முறை சுற்று செயல்திறன் மற்றும் நம்பகத்தன்மையை உறுதி செய்கிறது.

காட்சிகள் மற்றும் சென்சார்களுக்கான பூச்சு தொழில்நுட்பம்

காட்சி உற்பத்தியில், வெளிப்படையான கடத்தும் திரைப்படங்கள் மற்றும் ஆப்டிகல் படங்களை டெபாசிட் செய்ய வெற்றிட பூச்சு பயன்படுத்தப்படுகிறது; சென்சார் உற்பத்தியில், முக்கியமான கூறுகள் மற்றும் பாதுகாப்பு அடுக்குகளைத் தயாரிக்க பூச்சு தொழில்நுட்பம் பயன்படுத்தப்படுகிறது, சென்சார்களின் உணர்திறன் மற்றும் ஆயுள் ஆகியவற்றை மேம்படுத்துகிறது.

பி. ஒளியியல் மற்றும் ஆப்டோ எலக்ட்ரானிக்ஸ்

ஆப்டிகல் மெல்லிய படங்களின் வகைகள் மற்றும் பயன்பாடுகள்

ஆப்டிகல் மெல்லிய படங்களில் எதிர்ப்பு பிரதிபலிப்பு படங்கள், எதிர்ப்பு பிரதிபலிப்பு திரைப்படங்கள், வடிகட்டி திரைப்படங்கள் மற்றும் பிரதிபலிப்பு திரைப்படங்கள் ஆகியவை அடங்கும். படங்களின் தடிமன் மற்றும் ஒளியியல் பண்புகளை துல்லியமாகக் கட்டுப்படுத்துவதன் மூலம், பிரதிபலிப்பைக் குறைத்தல், பரிமாற்றத்தை மேம்படுத்துதல் மற்றும் தேர்ந்தெடுக்கப்பட்ட வடிகட்டுதல் போன்ற குறிப்பிட்ட ஒளியியல் விளைவுகளை அடைய முடியும்.

லேசர்கள் மற்றும் ஆப்டிகல் சாதனங்களில் பூச்சு பயன்பாடு

லேசர்கள் மற்றும் ஆப்டிகல் சாதனங்களில், உயர் செயல்திறன் கொண்ட கண்ணாடிகள், விண்டோஸ் மற்றும் லென்ஸ்கள் தயாரிக்க, ஆப்டிகல் அமைப்புகளின் செயல்திறன் மற்றும் நிலைத்தன்மையை மேம்படுத்துவதற்கு வெற்றிட பூச்சு தொழில்நுட்பம் பயன்படுத்தப்படுகிறது.

சி. இயந்திர மற்றும் பாதுகாப்பு பயன்பாடுகள்

கடின பூச்சு மற்றும் உடைகள்-எதிர்ப்பு பூச்சு

கடினமான பூச்சுகள் மற்றும் உடைகள்-எதிர்ப்பு பூச்சுகள் வெற்றிட பூச்சு தொழில்நுட்பத்தின் மூலம் தயாரிக்கப்படுகின்றன, மேலும் அவற்றின் உடைகள் எதிர்ப்பு மற்றும் சேவை வாழ்க்கையை மேம்படுத்த கருவிகள், அச்சுகள் மற்றும் இயந்திர பாகங்களில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன.

அரிப்பு எதிர்ப்பு பூச்சுகளின் பயன்பாடு

எதிர்ப்பு அரிப்பு பூச்சுகள் குரோமியம் மற்றும் டைட்டானியம் போன்ற அரிப்பு-எதிர்க்கும் பொருட்களின் ஒரு அடுக்கை உலோக மேற்பரப்பில் வெற்றிட பூச்சு தொழில்நுட்பத்தின் மூலம் அதன் அரிப்பு எதிர்ப்பை மேம்படுத்துவதற்கும், உபகரணங்களின் சேவை ஆயுளை நீட்டிப்பதற்கும் வைக்கின்றன.

D. வளர்ந்து வரும் துறைகளில் பயன்பாடுகள்

நானோ தொழில்நுட்பத்தில் வெற்றிட பூச்சு

நானோ தொழில்நுட்பத்தில், நானோ அளவிலான கட்டமைப்புகள் மற்றும் நானோவைர்ஸ், நானோ துகள்கள் மற்றும் குவாண்டம் புள்ளிகள் போன்ற மெல்லிய திரைப்படங்களைத் தயாரிக்க வெற்றிட பூச்சு பயன்படுத்தப்படுகிறது, இது மின்னணுவியல், ஆப்டோ எலக்ட்ரானிக்ஸ் மற்றும் வினையூக்கி போன்ற துறைகளில் பயன்படுத்தப்படுகிறது.

பயோமெடிக்கல் பயன்பாடுகள்

உயிர் இணக்கமான திரைப்படங்கள், சென்சார்கள் மற்றும் மருத்துவ சாதன மேற்பரப்புகளில் செயல்பாட்டு பூச்சுகளை தயாரிக்க, அவற்றின் செயல்திறன் மற்றும் பாதுகாப்பை மேம்படுத்துவதற்கு பயோமெடிக்கல் பயன்பாடுகளில் வெற்றிட பூச்சு தொழில்நுட்பம் பயன்படுத்தப்படுகிறது.